空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)靈敏度降低怎么維護(hù)？
2024.08.10
當(dāng)發(fā)現(xiàn)空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無(wú)水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、級(jí)限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。
②反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定
反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開(kāi)啟，本底訊號(hào)為零（或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時(shí)間，記為τR。
清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時(shí)間，記為τC。
③工作真空、級(jí)限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級(jí)限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的級(jí)限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。
